德國(guó) picosun p-1000 pro ald 生產(chǎn)型原子層沉積機(jī),156 mm x 156 mm硅片800~1000片/批次(雙面/背對(duì)背),高達(dá)400 mm x 600 mm玻璃基板30~50片/批次(雙面/背對(duì)背),(w x h x d) 230 cm x 270 cm x 125 cm,標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)為 al2o3 工藝.
更新時(shí)間:2025-04-30