plascalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)plascalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)通過測量等離子體反應(yīng)腔的發(fā)射光譜,實時監(jiān)測反應(yīng)腔內(nèi)的等離子體組分和密度、等離子體溫度、電子密度等參數(shù)。由等離子體發(fā)射光譜的強(qiáng)度值可計算得出等離子組分、顆粒密度及電子密度;由同一電子的能量吸收譜線同另外譜線的對比可計算得出電子溫度。測量輸出結(jié)果,可反饋控制等離子體的發(fā)生,從而獲得最佳的反應(yīng)流程和效果。 plascalc等離子體監(jiān)控系統(tǒng)主要包括:高性能線陣ccd光譜儀、傳輸光纖、接收透鏡、過程監(jiān)控裝置及測量分析軟件。
更新時間:2025-10-27